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      二維壓電掃描臺 ║P121XZS是采用壓電陶瓷驅動的二維壓電納米定位平臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了納米定位臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米定位臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電掃描臺特點體積小、結構緊湊、易于集成,中空式設計,可更好的適用顯微及掃描應用。


      內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
      壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


      零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

      柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                           

      ◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

      ◆ 可提供更小外形尺寸版本;

       可提供更大通光孔徑版本;

      ◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

      ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

      ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

      ● 掃描顯微鏡

      ● 超分辨率顯微鏡

      ● 掩模/晶圓定位

      ● 干涉測量

      ● 測量技術

      ● 生物技術

      ● 顯微操作

                                                                                                          

                                                       

      型號

      P120XZS

      P121XZS

      P122XZS

      P12*XZ

      單位

      公差

      主動軸

      X,Z

      X,Z

      X,Z

      X,Z

      -

      -

      運動和定位







      傳感器類型

      SGS

      SGS

      SGS

      -

      -

      -

      最大行程[-20V~+150V]

      50x50

      100x100

      200x200

      同S版

      μm

      ±20%

      標稱行程[0V~+120V]

      40x40

      80x80

      160x160

      同S版

      μm

      ±20%

      分辨率

      0.5

      1

      2

      同S版

      nm

      typ.

      閉環線性度

      0.05

      0.05

      0.05

      -

      %F.S.

      typ.

      重復定位精度

      0.03

      0.03

      0.03

      -

      %F.S.

      typ.

      機械特性







      運動方向剛度

      0.6/0.8

      0.6/0.8

      0.5/0.6

      同S版

      N/μm

      ±20%

      空載諧振頻率

      220/250

      190/215

      155/175

      同S版

      Hz

      ±20%

      運動方向推/拉力

      30/5

      50/10

      100/10

      同S版

      N

      Max.

      承載能力

      10

      8

      7

      同S版

      N

      Max.

      其他







      工作溫度

      -20~80

      -20~80

      -20~80

      同S版

      -

      材質

      鋁,鋼

      鋁,鋼

      鋁,鋼

      同S版

      -

      -

      外形尺寸[AxAxH]

      50x50x22

      60x60x24

      75x75x28

      同S版

      mm

      -

      基座安裝孔距[BxB]

      40x40

      50x50

      65x65

      同S版

      mm

      -

      臺面安裝孔距[CxC]

      30x30

      35x35

      40x40

      同S版

      mm

      -

      通光孔徑[DxD]

      20x20

      25x25

      30x30

      同S版

      mm

      -

      重量

      0.25

      0.3

      0.36

      同S版

      Kg

      ±5%

      線纜長度

      1.5

      1.5

      1.5

      同S版

      m

      ±10mm

      連接器類型

      LEMO│D-Sub9

      LEMO│D-Sub9

      LEMO│D-Sub9

      同S版

      -

      -

      注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

       ?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。

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