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      二維壓電掃描臺 ║P415S是采用壓電陶瓷驅動的二維并聯壓電納米位移臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈并聯導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了位移臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電掃描臺內部采用并聯式結構設計,結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于各種掃描應用系統中。


      內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
      壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


      零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

      柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。


      并聯運動實現高動態多軸操作
      在并聯多軸運動定位系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態性設計,可實現快速、高動態和高精密的運動。

      機構直驅式壓電納米定位臺是采用壓電陶瓷直接驅動。

      壓電陶瓷具有很大的推力及剛度,從而使平臺具有很高的運動剛度和推/拉力,同時具有優異的動態性能和承載能力。

                                                                                           

      ◆ 可提供各種運動行程、外形尺寸、通光孔徑版本;

       結構緊湊,低外形,易于集成;

      ◆ 并聯運動設計可實現更高精度和動態性;

      ◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度;

      ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

      ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

      ● 掃描顯微鏡

      ● 共聚焦顯微鏡

      ● 掩模/晶圓定位

      ● 表面測量技術

      ● 納米壓印

      ● 顯微操作

      ● 圖像處理/穩定

      ● 高運動平面度和直線度的納米定位

                                                                                                          

                                                       

      型號

      P411S

      P413S

      P415S

      P41*

      單位

      公差

      主動軸

      X,Y

      X,Y

      X,Y

      X,Y

      -

      -

      運動和定位







      傳感器類型

      SGS

      SGS

      SGS

      -

      -

      -

      最大行程[-20V~+150V]

      16x16

      33x33

      50x50

      同S版

      μm

      ±20%

      標稱行程[0V~+120V]

      13x13

      26x26

      40x40

      同S版

      μm

      ±20%

      分辨率

      0.2

      0.35

      0.5

      同S版

      nm

      typ.

      閉環線性度

      0.08

      0.08

      0.08

      -

      %F.S.

      typ.

      重復定位精度

      0.05

      0.05

      0.05

      -

      %F.S.

      typ.

      機械特性







      運動方向剛度

      50

      20

      10

      同S版

      N/μm

      ±20%

      空載諧振頻率

      2.4

      1.8

      1.2

      同S版

      KHz

      ±20%

      運動方向推/拉力

      100/20

      100/20

      100/20

      同S版

      N

      Max.

      承載能力

      50

      50

      50

      同S版

      N

      Max.

      其他







      工作溫度

      -20~80

      -20~80

      -20~80

      同S版

      -

      材質

      鋁,鋼

      鋁,鋼

      鋁,鋼

      同S版

      -

      -

      外形尺寸[AxAx20]

      80x80x20

      100x100x20

      120x120x20

      同S版

      mm

      -

      基座安裝孔距[BxB]

      65x65

      85x85

      105x105

      同S版

      mm

      -

      臺面安裝孔距[CxC]

      35x35

      55x55

      75x75

      同S版

      mm

      -

      通光孔徑[DxD]

      30x30

      50x50

      70x70

      同S版

      mm

      -

      重量

      0.5

      0.6

      0.8

      同S版

      Kg

      ±5%

      線纜長度

      1.5

      1.5

      1.5

      同S版

      m

      ±10mm

      連接器類型

      LEMO│D-Sub9

      LEMO│D-Sub9

      LEMO│D-Sub9

      同S版

      -

      -

      注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

       ?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。


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