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    1. 503

      二維壓電掃描臺 ║P641S  P641LS  是采用壓電陶瓷驅動的二維并聯納米級精密定位壓電掃描臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈并聯導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電掃描臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電掃描臺內部采用并聯式結構設計 , 結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。


      內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
      壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


      零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

      柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。


      并聯運動實現高動態多軸操作
      在并聯多軸運動定位系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態性設計,可實現快速、高動態和高精密的運動。

                                                                                           

      ◆ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的多軸精度;

      ◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度;

      ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

      ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

      ● 計量

      ● 干涉測量

      ● 光子學/集成光學

      ● 平版印刷術

      ● 納米定位

      ● 掃描顯微鏡

      ● 樣本對準

      ● 微加工

                                                                                                          

                                                       

      型號

      P641S

      P641LS

      P641*

      單位

      公差

      主動軸

      X,Y

      X,Y

      X,Y

      -

      -

      運動和定位






      傳感器類型

      SGS

      SGS

      -

      -

      -

      最大行程[-20V~+150V]

      150x150

      150x150

      同S版

      μm

      ±20%

      標稱行程[0V~+120V]

      120x120

      120x120

      同S版

      μm

      ±20%

      分辨率

      1.5

      1.5

      同S版

      nm

      typ.

      閉環線性度

      0.05

      0.05

      -

      %F.S.

      typ.

      重復定位精度

      0.02

      0.02

      -

      %F.S.

      typ.

      機械特性






      運動方向剛度

      1.2/1.2

      1.1/1.1

      同S版

      N/μm

      ±20%

      空載諧振頻率

      310/310

      350/350

      同S版

      Hz

      ±20%

      運動方向推/拉力

      120/30

      100/30

      同S版

      N

      Max.

      承載能力

      50

      30

      同S版

      N

      Max.

      其他






      工作溫度

      -20~80

      -20~80

      同S版

      -

      材質

      鋁,鋼

      鋁,鋼

      同S版

      -

      -

      外形尺寸

      150x150x30

      150x150x20

      同S版

      mm

      -

      通光孔徑

      66x66

      66x66

      同S版

      mm

      -

      重量

      1.6

      0.95

      同S版

      kg

      ±5%

      線纜長度

      1.5

      1.5

      同S版

      m

      ±10mm

      連接器類型

      LEMO│D-Sub9

      LEMO│D-Sub9

      同S版

      -

      -

      注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

       ?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。

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